Hệ số khuếch tán nội tại và hệ số khuếch tán tương quan của tạp chất bo trong silic

Trong quá trình khuếch tán tạp chất bo trong silic, sự tương tác giữa bo và sai hỏng điểm làm cho quá trình khuếch tán và hệ số khuếch tán của bo trong silic trở nên phức tạp. Vì vậy, việc xác định hệ số khuếch tán của bo trong silic không hề đơn giản. Tuy nhiên, ứng dụng lý thuyết nhiệt động lực không thuận nghịch, quá trình khuếch tán và hệ số khuếch tán của tạp chất bo trong silic có thể được lý giải, tính toán và khảo sát. Trong bài báo này, các tác giả đã giới thiệu các kết quả nghiên cứu về hệ số khuếch tán nội tại và hệ số khuếch tán tương quan của bo trong silic. Các kết quả đã cho thấy:

i) Hệ số khuếch nội tại và hệ số khuếch tán tương quan của bo trong silic phụ thuộc vào nồng độ của bo và nồng độ sai hỏng điểm;

ii) Khi nồng độ bo thấp, hệ số khuếch tán nội tại có dấu dương và bo khuếch thông thường trong Si;

iii)Khi nồng độ bo cao, hệ số khuếch tán nội tại có dấu âm và bo khuếch lên dốc trong silic.