Hệ đo đặc trưng điện của vi cảm biến vận tốc góc kiểu Tuning Fork

Nội dung của bài báo này trình bày về thiết kế hệ đo đặc trưng của vi

cảm biến vận tốc góc. Vi cảm biến vận tốc góc được sử dụng là kiểu Tuning Fork

trên cơ sở công nghệ vi cơ điện tử MEMS (thiết kế chế tạo tại Viện ITIMS). Hệ đo

gồm có các mô đun tốc độ góc, mô đun chuyển đổi C-V (MS3110) và mô đun thu

thập dữ liệu USB-6009 kết nối với máy tính xử lý dữ liệu bởi phần mềm LabvieW.

Trong hệ đo có sử dụng truyền động quay bằng động cơ servo có điều khiển tốc độ

và thời gian quay. Vận tốc góc cần đo sẽ có tỷ lệ với điện dung cảm ứng đầu ra của

vi cảm biến vận tốc góc, điện dung được chuyển đổi tỷ lệ sang điện áp ta sẽ tính

toán được vận tốc góc cần đo. Trong quá trình nghiên cứu, hệ đo đã được xây dựng

thành công và đã có kết quả thực nghiệm.