Giáo trình Xử lý bức xạ và cơ sở của công nghệ bức xạ

Bức xạion hoá năng lượng cao được sửdụng đểtạo ra các biến đổi ởmức nguyên tửvà

phân tửlà các loại bức xạalpha, bêta, gamma, tia X, nơtron, electron và ion. Trong sốnày

bức xạgamma và electron thường được sửdụng nhiều hơn cảso với các loại bức xạkhác.

Tuy không được xếp vào loại bức xạion hoá năng lượng cao, song gần đây các tia cực

tím (UV) cũng được sửdụng trong các quy trình xửlý màng mỏng và xửlý bềmặt vật liệu.