Luận văn Nghiên cứu quy trình công nghệ quang khắc trong phòng sạch sử dụng chế tạo linh kiện kích thước micro
Kiểm tra chất lượng nước DI: Độ sạch của nước DI được đánh giá dựa vào tỉ lệ
các ion tạp chất còn trong nước lên cách kiểm tra tốt nhất là xác định giá trị điện trở
suất của nước DI. Tất nhiên, nước DI càng sạch thì giá trị điện trở suất càng cao.
Nước DI được coi là sạch khi giá trị điện trở suất tầm 18,2 triệu ôm và độ dẫn điện
tầm 0,055 microsiemens (được tính ở 25 độ C).
Luận văn Nghiên cứu quy trình công nghệ quang khắc trong phòng sạch sử dụng chế tạo linh kiện kích thước micro trang 1
Luận văn Nghiên cứu quy trình công nghệ quang khắc trong phòng sạch sử dụng chế tạo linh kiện kích thước micro trang 2
Luận văn Nghiên cứu quy trình công nghệ quang khắc trong phòng sạch sử dụng chế tạo linh kiện kích thước micro trang 3
Luận văn Nghiên cứu quy trình công nghệ quang khắc trong phòng sạch sử dụng chế tạo linh kiện kích thước micro trang 4
Luận văn Nghiên cứu quy trình công nghệ quang khắc trong phòng sạch sử dụng chế tạo linh kiện kích thước micro trang 5
Tải về để xem đầy đủ hơn
File đính kèm:
luan_van_nghien_cuu_quy_trinh_cong_nghe_quang_khac_trong_pho.pdf
